产品优点 * ULTRA Flow实现5L/sec的氦排气速度 * 采用与本体分离的独立控制器 * 标准配备无线控制机能 * 丰富的泵的产品种类 * 油回转真空泵、涡旋干泵 产品用途 * 管道与组件等各种部件的泄漏检查 * 真空设备的气密性检查 * 汽车部品、空调部品、热交换器部品的产品检査 * 食品,医药品等Package的密闭性检查 * 氦气、氢气的流量、透过量的计测 技术参数 * 检出气体 :4He, 2H2 * 较小可检漏量[4He][Pa?m3/sec]: <5E-13Pa?m3/sec * 漏率表示范围[Pa?m3/sec]: 4He:ULTRA 0.01E-12~E-6Pa?m3/sec 4He:FINE 0.01E-10~E-5Pa?m3/sec 4He:GROSS 0.01E-8~E-3Pa?m3/sec 2H :FINE 0.01E-8~E-5Pa?m3/sec